友达六代面板厂介绍
友达六代面板厂是台湾第一座量产的六代厂,同时也是全球先进座开放媒体参观自彩色滤光片(CF)、Array端、CELL端制程的面板六代厂。六代厂不仅在玻璃基板尺寸更为巨大,在厂房结构设计、制程技术开发等方面,都与过去五代厂有所不同。
耗去14万吨钢材的友达六代厂,厂房占地长宽各为350m*160m,为6层楼式的建筑物,其中一楼为Array段,四楼为内制CF产线,六楼为CELL端产线,其余楼层则作为气流循环之用。由于六代前段设备体积不仅庞大,重量也十分惊人,为容纳高达4公尺的等离子辅助化学气相沉积仪器(PECVD),友达一楼挑高近6米,同时在底部的钢构结构也必须采用加强设计,以负荷机器重量。
笔者认为:友达六代厂能顺利量产,主要在于友达已经在一些关键制程技术上,透过自行研发所累积Know how,以Array端环光制程的光阻涂布机(Slit coater)为例,过去四代是采旋转式(Spin)涂布法,五代则是用刮刀式旋转涂布(Spin&Slit),但是一旦机台旋转发出声响如飞机起飞,而友达在六代则是采用新的涂布技术,利用涂布机台与基板间极微小的空隙将光阻均匀涂上,不仅提升均匀度,也可以省光阻,成为友达六代厂能顺利提升良率的关键技术之一。
在TFT面板生产良率最易发生问题的CELL端制程部分,友达在相位差制程(Rubbing)以及液晶直接滴下法(ODF)制程技术上也有所改进,为使六代厂能兼具生产个人电脑(PC)产品及电视(TV)产品,友达在六代厂耗费了半年时间,也导入Rubbing制程,由于六代玻璃基板巨大,如何使长达2公尺的Rubbing用滚轮顺利运作,友达也开发出自己的Know how,而为提防技术外泄,甚至在机台外以黑色胶膜加以遮盖。